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    咨詢熱線

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    大面積高速3D激光掃描儀

    簡要描述:NS-3500大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

    • 產品型號:NS3500 L
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2024-06-04
    • 訪  問  量:2866

    詳細介紹

    NS-3500L大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的大面積高速3D激光掃描儀。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

    Features & Benefits(性能及優勢):

    高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

    實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

    多種光學變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

    實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

    自動聚焦

    Application field(應用領域):

    NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

    可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

    -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

    - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

    - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

    -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

    -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

     

     

     

    Specification(規格):

    Model

    Microscope  NS-3500

    備注

     

    Controller    NS-3500E

    物鏡倍率

    10x

    20x

    50x

    100x

    150x

     

    觀察/  測量范圍  

    水平 (H): μm

    1400

    700

    280

    140

    93

     

    垂直 (V): μm

    1050

    525

    210

    105

    70

     

    工作范圍: mm

    16.5

    3.1

    0.54

    0.3

    0.2

     

    數值孔徑(N.A.)

    0.30

    0.46

    0.80

    0.95

    0.95

     

    光學變焦

    x1 to x6

     

    總放大倍率

    178x to 26700x

     

    觀察/測量光學系統  

    針孔共聚焦光學系統

     

    高度測量

    測量掃描范圍

    精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

     

    長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

    顯示分辨率

    0.001 μm

     

    重復率 σ

    0.010 μm

    注 1

    寬度測量

    顯示分辨率

    0.001 μm

     

    重復率 3σ

    0.02 μm

    注 2

    幀記憶

    像素

    1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

     

    單色圖像

    12 bit

     

    彩色圖像

    8-bit for RGB each

     

    高度測量

    16 bit

     

    幀速率

    表面掃描

    20 Hz to 160 Hz

     

    線掃描

    ~8 kHz

     

    自動功能

    自動增益

     

    激光共焦測量光源

    波長

    405nm

     

    輸出

    ~2mW

     

    激光等級

    Class 3b

     

    激光接收元件

    PMT (光電倍增管)

     

    光學觀察光源

    10W LED

     

    光學觀察照相機

    成像元件

    1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

     

    記錄分辨率

    640x480

     

    自動調整

    增益, 快門速度, White balance

     

    數據處理單元

    PC

     

    電源

    電源電壓

    100 to 240 VAC, 50/60 Hz

     

    電流消耗

    500 VA max.

     

    重量

    顯微鏡

    Approx. ~50 kg

    (Measuring head unit : ~12 kg)

     

    控制器

    ~8 kg

     

     

    注 1 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量                                                                  

    注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量。

     

     

     

     

     

     

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